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Standard Features
- PLC Touch Control system
- Sample size : max 6 inch wafer
- Mask size : up to 7"x 7"
- Dual CCD zoom microscope and LCD ( 19 inch ) monitor
- Alignment Tooling Module with X,Y,Z and Theta motion
- Wedge Error Compensation (leveling plate type)
- Dimension : 1000 (W) x 950 (D) x 1750 (H) mm
- Weight : 250 Kg
System specification
A. Light source module
- UV Lamp power : 350W
- Near UV light source : 350nm to 450nm
- 365nm Intensity : > max 25mW/cm2
- Max. Beam Size : 6" x 6"
- Beam Uniformity : <¡¾3%
B. Stage and controller module
- Exposure Timer : 0.1 sec to 999.9 Hour
- Stage movement : X,Y,Z and Theta
X, Y : 10 mm
Theta : ¡¾4¡Æ
Z Motion Travel : 10 mm
- Contact Mode : Vacuum, Hard, Soft Contact
- Alignment Accuracy : <¡¾0.5 micron
- Vac. / Pneumatic Controls : Substrate, Mask, Contact, , Chuck lock
C. Vibration Isolation Table
- Isolation size : 1000 x 1000 x 20t
- Top plate : Steel
- Top Skin : SUS 304 H/L
- Height : 750 mm ( From Floor To Top )
- leveling : 3- Point self leveling
- Natural Frequency :
Vertical : 1.2 ~ 1.5 Hz
Horizontal : 1.5 ~ 1.8Hz
- »ç°¢ arm Rest ºÎÂø
- Under Shelf ºÎÂø
- Air : >5kgf/§²
D. Utilities requirement
- Electric power : 220VAC, 15 Amp , single phase with Ground
- Nitrogen : >40 psi ( 3§¸/§² ), ¿Ü°æ 6 tube
- OFA : >85 psi ( 5 §¸/§² ) , ¿Ü°æ 6 tube
- Vacuum : < -200 mbar ( Vacuum Pump Include )
E. Remarks
- warranty : 1 year
- Delivery : 6 weeks
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